Mikrosysteme und Sensoren

Kleine Systeme mit grosser Wirkung

Die Mikrosystemtechnik ist eine Querschnittsdisziplin, der sich das Institut für Mikrotechnik und Photonik verschrieben hat. Wir können für Sie das Design, die Herstellung und die Charakterisierung von mikrotechnischen Systemen übernehmen. Wir bauen Sensoren, Aktoren und passive Mikroelemente. Durch die Kombination von Mikrofluidik mit miniaturisierten Analysemethoden können wir auch komplette Lab-on-a-Chip Systeme entwickeln.  Zur Fertigung unserer Mikrosysteme haben wir eine umfassende Prozesstechnologie (Strukturierung, Dünnschichten), Aufbau- und Verbindungstechnik (Packaging) und diverse Drucktechnologien zur Verfügung. Ergänzt wird diese durch Kompetenzen in Charakterisierung und Schadensanalytik sowie Photonik und Optik.

Die Umgebung erfühlen und ertasten

Sensoren und Aktoren sind allgegenwärtig. Sie erkennen für uns Gefahrensituationen und erleichtern den Alltag. Am Institut IMP wurden bereits verschiedenste Sensoren und Aktoren realisiert und charakterisiert. Dazu zählen Sensoren zur Detektion von Licht, Kraft, Druck oder Flüssen und Aktoren zum Greifen kleiner Objekte, Aktoren zum Schalten von Gasströmen oder Aktoren zur Modulation von elektrischen Signalen.

Piezoresistiver Kraft- und Auslenkungssensor

Piezoresistive Sensoren werden zur Messung von Kräften, Auslenkungen, Drücken und mechanischen Spannungen verwendet. In diesem Fall wurde ein piezoresistiver Sensor zur Messung von Kräften und Auslenkungen in einen Biegebalken integriert.

Thermischer Aktor

Mikrotechnisch hergestellte thermische Aktoren aus Silizium eignen sich hervorragend für Bewegungen in der Ebene. Je nach Geometrie und maximaler Temperatur sind Auslenkungen von bis zu 40 µm möglich, dabei können Kräfte von einigen mN erreicht werden.

Thermoelektrischer Generator

Thermoelektrische Generatoren (TEG) wandeln Wärme in elektrische Energie um. Sie werden beispielsweise als Energiequellen für Sensoren an schwer zugänglichen Orten eingesetzt und bestehen aus vielen Thermoelementen, welche  in Serie geschaltet sind.

Fluidischer Mikromischer

Fluidische Mikromischer werden zum Mischen von flüssigen Substanzen z.B. in der Pharmaindustrie eingesetzt. Im Vergleich zu konventionellen Methoden benötigt der Mikromischer bis zu 90% weniger Totvolumen.

Weitere Informationen zu unserern Kompetenzen im Bereich Mikrofluidik und MedTech

Miniaturisierung und Systemintegration

Ob Sie ein existierendes System miniaturisieren wollen oder alternative Lösungen finden wollen, wir unterstützen Sie von der Idee über den Bau eines Prototypen bis zur Fertigung von Kleinserien. Mikrosystemtechnische Fertigungsverfahren erlauben es Geometrien im Mikrometerbereich sowie Toleranzen im Bereich von einigen 100 nm zu realisieren. Diese vergleichbar hohe Präzision im Vergleich zu konventionellen feinmechanischen Fertigungsverfahren kann von vielseitigem Nutzen sein. Neben der Auslegung und Fertigung der Mikrosysteme spielt auch deren elektrische Anbindung und Systemintegration eine wichtige Rolle und wird von Anfang an mitgedacht. Um industriekompatible, produktorientierte Lösungen zu finden leben wir einen interdisziplinären Ansatz.

Dozent Mikrosysteme

+41 58 257 34 56rudolf.buser(at)ost.ch

Dozent Mikrotechnik

+41 58 257 34 66samuel.huber(at)ost.ch

Equipment

Für die Fertigung von MEMS steht Infrastruktur für die komplette Prozesskette zur Verfügung.

Mehr erfahren

Für die Fertigung von MEMS steht Infrastruktur für die komplette Prozesskette zur Verfügung.

Mehr erfahren