Equipment Analytik

Analytik im Reinraum

  • Lichtmikroskop Nikon ME600
  • CMT-SR2000N-R 4-Punkt Schichtwiderstandsmapping
  • TLM-Messaufbau zur Kontaktwiderstands-Bestimmung
  • M-Line-Spektroskopie Metricon
  • Filmetrics F20-UV - Thin-Film Measurement System
  • Nadelprober Cascade
  • Nadelprober Süss
  • Partikelmessmikroskop Leica
  • Taktiles Profilometer KLA-Tencor P-17
  • Diverse Vakuum-Prüfstände für Tests und Analysen unter Vakuumbedingungen (z.B. Ausgasungs-Tests)
  • Diverse Vakuum-Druckmesszellen
  • Prisma QMS 200 Massenspektrometer

Folgende Geräte für die Oberflächen- und Materialcharakterisierung verwenden wir gemeinsam mit dem Materials Team.

  • Rasterelektronenmikroskop (REM) LEO 1455 VP (inkl. EDX)
  • Atom-Kraftmikroskop (AFM) DI Dimension 3100
  • Weisslichtinterferometer/Konfokalprofilometer PLµ2300
  • Röntgendiffraktometer PANalytical X'Pert PRO MRD-XL
  • Fluoreszenzmikroskop
  • Schertester und Mikro-Chevron Tests

Um unsere Bauteile umfassend zu charakterisieren bauen wir projektspezifische Teststände. Es stehen aber auch fixe Teststände zur Verfügung.

  • Schertester und Micro-Chevron Tests
  • Equipment für die Charakterisierung von Fluidikbauteilen
    • Druckgeber Fluigent (4x 1000 mbar und 1x 345 mbar)
    • Spritzenpumpen (2x)
    • Diverse Flusssensoren (3.7 nl/min bis 1 ml/min)
    • Diverse Kleinteile (Ventile, Bubble Traps, Adapter und Verbindungsstücke)

Senior Research Engineer

+41 58 257 34 71dietmar.bertsch(at)ost.ch