Prof. Dr. Martin Gutsche

Dozent Prozesstechnologie

+41 58 257 34 68 martin.gutsche@ost.ch

Curriculum Vitae

Martin Gutsche joined the NTB University of Applied Sciences in August 2005. He is Professor of Microtechnology and Scientific Head at the Institute of Micro- and Nanotechnology. His research focus is in the area of process and materials technology for the fabrication of microsystems. Prior to joining the faculty at NTB, he was a project manager with Infineon Technologies in Munich, Germany, focusing on the development of high-k materials and later the benchmarking of DRAM technology. He initiated Atomic Layer Deposition for DRAM applications at Infineon Technologies. From 1996 to 1998, Martin Gutsche was a Long Term Delegate with Siemens Microelectronics in the joint DRAM Development Alliance with IBM in Fishkill and Yorktown, USA, where he worked on plasma etch processes for semiconductor applications. Martin Gutsche received a Ph.D. in Physics from the Technical University of Munich for his research on thin-film cryo-detectors. He has authored or co-authored more than 30 technical publications and holds more than 40 patents.

Teaching activity

  • Microfabrication
  • Process technology
  • Thin film deposition
  • Plasma etching
  • Semiconductor technology
  • Industrial projects
VerfasserTitelJahrArbeit
Claudia Widmer,
Alexander Grabher
3D MIKRO-ELEKTROMECHANISCHE SYSTEME2019Bachelorarbeit
Samuel Landolt,
Mahmoud Halawa
Abscheidung von GaN durch reaktives Sputtern unter Verwendung eines flüssigen Gallium-Targets2019Bachelorarbeit
Pablo Cavelti Einfluss des Mischungsverhältnisses im Schichtmaterial auf die Eigenschaften optischer Hochleistungsspiegel hergestellt durch IBS2019Bachelorarbeit
Pierre Einspieler Partielle Beschichtung von mikrooptischen Linsen2019Bachelorarbeit
Nicolas Seitz Plasmaaktivierungsverfahren2019Bachelorarbeit
Raneem Achor,
Mirco Kalberer
Untersuchung der Membransteifigkeit eines piezore-sistiven Drucksensors in Abhängigkeit der Bondtempe-raturDrucksensor2019Bachelorarbeit
Fabian Grimm Herstellung und Untersuchung von optischen Mischmaterialien an der Dual Ion Beam Sputteranlage (DIBS)2018Bachelorarbeit
Entwicklung eines Hochtemperatur-Durchflussmessers für Temperiergeräte2017Bachelorarbeit
Michael Zürcher Entwicklung eines Hochtemperatur-Durchflussmessers für Temperiergeräte2017Bachelorarbeit
Marco Zollinger,
Marco Reifler
Automatic Optical Inspection (AOI) für einen Gas- bzw. Flow-Sensor2016Studienarbeit / Semesterarbeit
Michael Kryenbühl,
Fabian Büchel
Automatic Optical Inspection (AOI) für einen Gas- bzw. Flow-Sensor2016Bachelorarbeit
Patrik Urs Graf Diffusionswellenleiter in Dünnglas für die Photonik2016Bachelorarbeit
Raphael Unterer,
Jérôme McDonald,
Demian Henzen
Diffusionswellenleiter in Dünnglas für die Photonik2016Studienarbeit / Semesterarbeit
Martin Johannes Sauter Resonanter Dichtesensor aus Silizium2016Studienarbeit / Semesterarbeit
Andreas Halter,
Florian Neff
Resonanter Dichtesensor aus Silizium2016Studienarbeit / Semesterarbeit
Magnetgreifer2015Projektarbeit
Tamara Celina Jordi,
Kay Ackermann
Magnetgreifer2015Bachelorarbeit
Nico Stalder,
Thomas Elsensohn
Maskenloses Belichtungsverfahren für die Fotolithographie2015Studienarbeit / Semesterarbeit
Admir Asanoski,
Lukas Buess
Maskenloses Belichtungsverfahren für die Fotolithographie2015Studienarbeit / Semesterarbeit
Markus Toma Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen2015Masterarbeit
Melanie Spirig,
Stefan Elsner
Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen2015Studienarbeit / Semesterarbeit
Stefan Söhlke Schweizerische Heimerziehung – Heimlich Unheimlich?2015Bachelorarbeit