Prof. Dr. Martin Gutsche
IMP Institut für Mikrotechnik und PhotonikProfessor für Mikrotechnik, Leiter Kompetenzbereich Prozesstechnologie
Knowledgebase
| Author | Title | Year | Type |
| Marco Giordano | Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating | 2024 | Masterarbeit |
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Raphael Mayenknecht, Michiel Sameli | Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern | 2023 | Bachelorarbeit |
| Michael Zürcher | Entwicklung eines Hochtemperatur-Durchflussmessers für Temperiergeräte | 2017 | Bachelorarbeit |
| Fabian Büchel | Automatic Optical Inspection (AOI) für einen Gas- bzw. Flow-Sensor | 2016 | Bachelorarbeit |
| Demian Henzen | Diffusionswellenleiter in Dünnglas für die Photonik | 2016 | Bachelorarbeit |
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Andreas Halter, Florian Neff | Resonanter Dichtesensor aus Silizium | 2016 | Bachelorarbeit |
| Kay Ackermann | Magnetgreifer | 2015 | Bachelorarbeit |
| Admir Asanoski | Maskenloses Belichtungsverfahren für die Fotolithographie | 2015 | Bachelorarbeit |
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Melanie Spirig, Stefan Elsner | Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen | 2015 | Bachelorarbeit |