Die Identifizierung leichter chemischer Elemente (ab Bor, Z=5) erfordert einen evakuierten Strahlengang, der im Rasterelektronenmikroskop gegeben ist. Durch Verkleinern des Durchmessers der Probenstelle bis in den Mikrometerbereich hinein wird eine hohe Ortsauflösung der Element-Information möglich. Spezielle Algorithmen erlauben eine standardfreie quantitative Elementanalyse des lokal ermittelten Röntgenspektrums.