Equipment Beschichtung
Dünnschichttechnologien
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- PVD Sputtertool G&S 550
- PVD Sputtertool Radiance SPM
- PVD Bedampfungsanlage BAK 600
- PECVD Oxford Instruments Plasmalab 100
Mikrogalvanik
- Rackplater RENA EPM 100R
- Tilt-Rotation-Plater RENA EPM 100T
- Fountain-Plater RENA EPM 100F
- Diverse Becken für nasschemische Vorbehandlungen
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Marco Cucinelli
IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik Leiter Reinraum
+41 58 257 34 57 marco.cucinelli@ost.ch
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