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Dünnschichtanalytik

Eines unserer wichtigsten Diensleistungsangebote ist die Charakterisierung optischer Dünnschichten und Dünnschichtsystemen. Wir messen für Sie die wichtigsten Parameter Ihrer Einzelschichten: die Dispersionskurve (spektraler Brechzahlverlauf) die Materialdämpfung oder die mechanische Dicke Ihrer Schicht.

Auch die Dispersionskurve Ihrer Substratmaterialien sowie das spektrale Transmissions- und Reflexionsverhalten Ihrer Schichtsysteme können wir vermessen. Für diese Messaufgaben setzen wir einen Metricon-Prismenkoppler (M-Line Spektroskopie) ein Reflexionsspektrometer sowie Spektralphotometer und optische Spektrumanalysatoren ein.

Messverfahren
  • M-Line Spektroskopie mit einem Prismenkoppler
    (Dicke, Brechzahl, Dämpfung)
  • Spektroskopie von Schichten
    (Reflexion, Transmission)
  • Röntgenbeugungsmethoden
    (Dicke, Dichte, Rauheit)

IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik

IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik