Equipment Analytik

Analytik im Reinraum

Lichtmikroskop Nikon ME600
CMT-SR2000N-R 4-Punkt Schichtwiderstandsmapping
TLM-Messaufbau zur Kontaktwiderstands-Bestimmung
M-Line-Spektroskopie Metricon
Filmetrics F20-UV - Thin-Film Measurement System
Nadelprober Cascade
Nadelprober Süss
Partikelmessmikroskop Leica
Taktiles Profilometer KLA-Tencor P-17

Vakuum-Analytik

Diverse Vakuum-Prüfstände für Tests und Analysen unter Vakuumbedingungen (z.B. Ausgasungs-Tests)
Diverse Vakuum-Druckmesszellen
Prisma QMS 200 Massenspektrometer

Oberflächen- und Materialcharakterisierung

Folgende Geräte für die Oberflächen- und Materialcharakterisierung verwenden wir gemeinsam mit dem Materials Team.

Rasterelektronenmikroskop (REM) LEO 1455 VP (inkl. EDX)
Atom-Kraftmikroskop (AFM) DI Dimension 3100
Weisslichtinterferometer/Konfokalprofilometer PLµ2300
Röntgendiffraktometer PANalytical X'Pert PRO MRD-XL
Fluoreszenzmikroskop
Schertester und Mikro-Chevron Tests

Spezifische Teststände

Um unsere Bauteile umfassend zu charakterisieren bauen wir projektspezifische Teststände. Es stehen aber auch fixe Teststände zur Verfügung.

Schertester und Micro-Chevron Tests
Equipment für die Charakterisierung von Fluidikbauteilen
- Druckgeber Fluigent (4x 1000 mbar und 1x 345 mbar)
- Spritzenpumpen (2x)
- Diverse Flusssensoren (3.7 nl/min bis 1 ml/min)
- Diverse Kleinteile (Ventile, Bubble Traps, Adapter und Verbindungsstücke)

Dietmar Bertsch

IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik Senior Research Engineer, Fachverantwortlicher Packaging

+41 58 257 34 71 dietmar.bertsch@ost.ch

IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik